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光学连续式镀膜设备
采用等离子和石墨靶预处理装置,有效提高膜层的结合力;双溅射工艺腔室,单腔镀膜时间减半,更短生产节拍。
复合集流体高速分切机
独立上刀,多组刀片,实现一分多条;智能张力调控,连续稳定调节张力,保证控制精度。
单面卷绕蒸发溅射一体机
蒸发腔、溅射腔共存;蒸发腔:单面蒸发,可镀铝、锂等低温蒸发材料。
单面卷绕溅射镀膜机(三腔)
镀膜腔可拓展,实现多种工艺,高速沉积;采用等离子表面处理,有效提高膜层的结合力。
单面卷绕三源共蒸镀膜设备
1200m/min高线速;产品性能优于电容器行业的检验标准。
双面卷绕蒸发镀膜设备
突破多送丝双面一步法蒸镀工艺;一步法双面成型方阻<35 mΩ复合铝箔(1μm)。
双面卷绕溅射镀膜设备
一步法双面镀膜,单面厚度30nm~1000nm ;实现3~50m/min工艺走速、1650大宽幅。
TCO&ITO卷绕设备
PVD 单面卷绕溅射镀膜,TCO/ITO镀膜技术;等离子处理技术。
全自动预清洗设备
用于激光划线后玻璃、盖板玻璃清洗;采用超声波清洗,清洗更彻底。
喷墨打印设备
常见钙钛矿各功能层的膜层沉积,无机盐层、有机盐层、电子传输层、空穴传输层、界面调控层等。
空间型原子层镀膜设备(ALD)
双源管路设计,快捷切换;精确控制原子级薄膜镀膜;布气板模块化设计,维护便捷。
反应式等离子体镀膜设备(RPD)
低损伤、低温高迁高透工艺;产品系列从研发设备至量产设备全面布局。
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