技术特点 Features
· 单腔体设计，占地面积小，操作时间短；
· 适应不同前驱体、不同材料的多层复合膜层镀膜，工艺拓展空间大；
· 精确控制薄膜厚度和均匀性，成膜结构致密、高保形、低缺陷密度、性能优异。
